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因此，信息如果纳米发光二极管打算大规模生产，采用自上而下的方法进行纳米制造是有利的方法。通信【图文导读】图1.制备示意图以及微观形貌(a–d)各制造步骤后样品的示意图。次工自上而下的方法通常包括金属硬掩模的纳米图案化和随后的干蚀刻。

在干ICP蚀刻之后，夫联及截头圆锥形纳米棒的(e)顶视图和(g)倾斜视图SEM图像。【前言】在IIIA族氮化物蓝色发光二极管出现后的二十年中，源互引爆业革发光二极管经历了重大的研究进步。

然而，电力第干法蚀刻通常会在蚀刻面上产生缺陷，并降低器件的性能。

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